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分子泵的电机转子叶片务必具备与气体分子速率相仿的角速度。具备那样的高速运行才可以使气体分子与动叶片相碰撞后更改任意透射的特点而作定向运动。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵出现机封渗油

故障剖析：机封毁坏；密封性旋盖未铺平；装配线部位不对。

解决方法：拆换机封；调节密封性旋盖；再次按技术标准装配线。

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Shimadzu岛津TMP-203M/MC磁悬浮分子泵对应的控制器为：Shimadzu EI-D203M

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Shimadzu岛津TMP-203M/MC真空泵维修一般流程：

试机---确定问题点---拆泵---报价---维修及更换零件---调试安装---试机---客户验收